台基半导体股份有限公司高纯水系统采用双级反渗透+混合床+抛光混合床工艺,产水电阻率18MΩ·CM以上,全不锈钢抛光设备,产水量40m3/h。现场设备运行图片如下:
预处理及反渗透设备
预处理工艺为砂滤器+炭滤器+软化器
软化器及再生装置
双级反渗透设备,全触摸屏自动控制
后处理为混合床+抛光混床组
高纯水电阻率大于18MΩ·CM
荆州市清源净化设备有限公司
联系人:杨国慧 13707211467
座机:0716-8631308
地址:湖北省荆州市开发区岑河镇三岔村
台基半导体股份有限公司高纯水系统采用双级反渗透+混合床+抛光混合床工艺,产水电阻率18MΩ·CM以上,全不锈钢抛光设备,产水量40m3/h。现场设备运行图片如下:
预处理及反渗透设备
预处理工艺为砂滤器+炭滤器+软化器
软化器及再生装置
双级反渗透设备,全触摸屏自动控制
后处理为混合床+抛光混床组
高纯水电阻率大于18MΩ·CM
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