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台基股份高纯水系统

修改时间:2024-04-18 19:21:52    浏览次数：648次

台基半导体股份有限公司高纯水系统采用双级反渗透+混合床+抛光混合床工艺，产水电阻率18MΩ·CM以上，全不锈钢抛光设备，产水量40m3/h。现场设备运行图片如下：

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预处理及反渗透设备

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预处理工艺为砂滤器+炭滤器+软化器 

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软化器及再生装置

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双级反渗透设备，全触摸屏自动控制

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后处理为混合床+抛光混床组

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高纯水电阻率大于18MΩ·CM 




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