高纯水设备(超纯水设备)是由多台水处理设备按工艺设计组合而成。最典型的工艺为:双级反渗透+EDI和双级反渗透+混合床工艺。高纯水设备广泛用于半导体、电子、精细化工、电厂、医药等行业。水处理工艺主要由预处理、反渗透、EDI或混合床、后级精处理几部分组成,根据不同水质要求,采用不同工艺,终端产水电阻率可达到15~18MΩ.CM以上。典型工艺流程为:
预处理系统-反渗透系统-中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象 (≥18MΩ.CM)(传统工艺)
预处理-反渗透-中间水箱-第二级反渗透—纯水箱—纯水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺)
预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯水箱-纯水泵-EDI装置-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥16MΩ.CM)(最新工艺)
预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥14MΩ.CM)(最新工艺)
预处理系统-反渗透系统-中间水箱-纯水泵-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)
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